Рішення для фільтрації газів у напівпровідниковій промисловості – серія HF від HENGKO
Опис
Газовий фільтр високого тиску спеціально розроблений для використання в системах подачі газу високого тиску, високої чистоти та надвисокої чистоти.
газові шафи у процесах виробництва напівпровідників. Виготовлені з міцної нержавіючої сталі 316L, вони забезпечують надійну конструкцію.
з розрахунковим тиском до 50 МПа, зберігаючи при цьому відносно легкий профіль.
Основні характеристики включають:
*Висока міцність та довговічність:
З чудовою стійкістю до високого тиску та температури.
*Стійкість до корозії:
Ідеально підходить для роботи з агресивними газами в складних умовах.
*Виняткова ефективність фільтрації:
Ефективно видаляє пил, іржу, масляний туман та вуглеводні зі стисненого
повітря,забезпечення чистоти газу та захист систем від забруднення.
*Висока проникність та тривалий термін служби:
Забезпечує ефективний потік газу та тривалий термін служби.
*Просте обслуговування:
Змінні фільтруючі елементи роблять обслуговування простим та економічно вигідним.
Цей фільтр покращує якість газу та забезпечує ефективну роботу напівпровідникового обладнання,
що робить його надійним рішенням для систем з високою чистотою газу.
Характеристика продукту
Характеристики продукту
▶Конструкція з нержавіючої сталі 316L
▶Легкий та компактний дизайн: Економія місця під час встановлення.
▶Різьбові з'єднанняЗабезпечує повну герметичність газового фільтра високого тиску.
▶Сумісний зі стандартами герметизації C-типу та W-типу
▶Стійкість до високих температур, тиску та корозії
▶Висока ефективність фільтраціїСтійкий до засмічення.
▶Легке та ефективне встановлення та обслуговування
▶100% перевірено та схвалено на чесність
▶100% перевірено та схвалено виявлення витоків гелію
Технічний паспорт
Технічні параметри
| Параметр | Специфікація |
|---|---|
| Матеріал фільтруючого елемента | Порошкова спечена нержавіюча сталь 316L |
| Матеріал корпусу | Нержавіюча сталь 316L |
| Оздоблення поверхні | - Зовнішній виглядRa <1,6 мкм |
| - Інтер'єрЕлектрополірування, Ra ≤0,13 мкм | |
| Ефективність фільтрації | ≥0,003 мкм |
| Максимальний робочий тиск | 500 бар |
| Максимальний перепад тиску | 5 бар |
| Максимальна робоча температура | 600°C |
| Чистота нижче за течією | ≤0,03 частинок/літр при номінальному потоці >0,01 мкм |
| Перевірка витоку гелію | 1 × 10⁻¹¹ куб.см/хв |
| Випробування на витік гелію | 1 × 10⁻⁹ куб. см/хв |
Розмір
Ось номер деталі, яку ви можете замовити, та деталі щодо розміру:
Таблиця інформації про продукт для дискового фільтра
| Модель продукту | Специфікація впускного отвору | Специфікація розетки | Загальна довжина (А) | Зовнішній діаметр фільтруючого елемента (φB) | Зовнішній діаметр корпусу (φC) |
|---|---|---|---|---|---|
| Z01B-00639 | 1/4 дюйма | Вакуумний фланець ISO NW40 | 42 мм (1,64 дюйма) | Φ39 мм (1,53 дюйма) | Φ55 мм (2,16 дюйма) |
| Z01B-00695 | 1/4 дюйма | Вакуумний фланець ISO NW50 | 42 мм (1,64 дюйма) | Φ52 мм (2,05 дюйма) | Φ75 мм (2,95 дюйма) |
Таблиця інформації про продукт для типів картриджних фільтрів
| Модель продукту | A | B | С (мм) | D (мм) | Висота H (мм) | Точність фільтрації | Ступінь очищення |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Z01G-00001 | NPT1/8 | NPT1/4 | 37 | 31,5 | 96 | ≤0,003 мкм | C |
| Z01G-00002 | NPT3/8 | NPT3/8 | 56 | 45 | 198 | ≤0,003 мкм | C |
| Z01G-00003 | Г1/2 | М10*1,5 | 100 | 88 | 346 | ≤0,003 мкм | C |
| Z01G-00004 | NPT3/8 | / | 45 | 42 | 149 | ≤0,003 мкм | C |
| Z01G-00005 | G1-1/2 | Г1/2 | 125 | 113 | 440 | ≤0,003 мкм | C |
| Z01G-00006 | G1 | G1/4 | 92 | 75 | 280 | ≤0,003 мкм | C |
| Z01G-00007 | G1 | G1/4 | 92 | 75 | 220 | ≤0,003 мкм | C |
Типові застосування
Ідеально підходить для використання в:
*Вакуумні камери, що потребують швидкого та точного випускання газу.
*Високочутливі середовища виробництва напівпровідників.
*Процеси, де мінімізація турбулентності та контроль частинок є критично важливими.
Завдяки своєму вдосконаленому дизайну та видатній продуктивності,Дифузорний фільтрє ідеальним вибором для
оптимізація фільтрації та керування потоком у напівпровідникових пристроях.
Зв'яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися, як цей інноваційний продукт може підвищити ваше виробництво
*Фільтрує гази високого тиску для охолодження та технологічних застосувань, особливо в умовах високих температур.
*Підвищує ефективність та зменшує знос обладнання, запобігаючи забрудненню систем охолодження та потоку газу.
Ці fФільтри є важливими в будь-якому застосуванні, що вимагає чистого, стабільного потоку газу, покращення захисту обладнання,
ефективність процесів та якість кінцевої продукції в усіх галузях промисловості.
Надішліть нам своє повідомлення:
