Рішення для поверхневого монтажу фільтрів C-подібного ущільнення для ефективних систем подачі газу від IGS

Короткий опис:

Бренд:ХЕНКО

Назва фільтра:Фільтр C-подібного ущільнення для поверхневого монтажу IGS

Матеріал:SS 316L

Швидкість потоку:10 ~ 120 SLPM

Макс. робоча температура:460°C

Розмір видалених частинок:> 0,003 мкм

Надіслати нам електронного листа Назад до підкатегорій

Деталі продукту

Теги продукту

Опис

Фільтри поверхневого монтажу HENGKO розроблені для задоволення високих вимог інтегрованих газових систем, що використовуються в напівпровідникових інструментах OEM. Пропонуючи провідну в галузі фільтрацію з розміром частинок 0,003 мкм, ці фільтри забезпечують виняткову продуктивність та надійність з ефективністю перехоплення частинок ≥99,9999999% (9-LRV) при 120 слпхв.

Виготовлені з міцної нержавіючої сталі 316L, спеченої порошковим способом для фільтруючого елемента та корпусу, ці фільтри відповідають специфікаціям SEMI F86-0304 та мають двопортові компоненти, адаптовані для газорозподільних систем діаметром 1,125 дюйма з конфігурацією C-подібного ущільнення. Вони підтримують максимальний тиск на вході 3,4 МПа при 100°C та максимальний робочий перепад тиску 0,69 МПа при 100°C.

Ці спеціалізовані фільтри, сумісні зі специфікаціями ущільнень типу C та W, забезпечують чистоту потоку завдяки вивільненню частинок.

З поверхневим покриттям Ra < 1,6 мкм зовні та Ra < 0,13 мкм зсередини, вони розроблені для роботи в умовах високих температур до 460°C. Розроблені для легкої інтеграції та модернізації модульної конструкції, ці фільтри спрощують встановлення та обслуговування, допомагаючи оптимізувати продуктивність системи в системах подачі та керування напівпровідниковими газами.

Характеристика продукту

▶ Загальна конструкція з нержавіючої сталі 316L
▶ Мініатюрний дизайн, компактна структура, економія місця
▶ Відмінні характеристики заміщення та десорбції газів
▶ Стійкість до високих температур, високого тиску та корозії
▶ Корпус з електрополірованої нержавіючої сталі 316L
▶ Легке та ефективне встановлення та обслуговування
▶ Механічне ущільнення, конструктивно не зварене з середовищем

Технічний паспорт

Технічні параметри	Цінності
Матеріал фільтруючого елемента	Спечений порошок з нержавіючої сталі 316L
Матеріал корпусу	Нержавіюча сталь 316L
Максимальний тиск на вході	3,4 МПа при 100°C
Максимальний робочий диференціал	0,69 МПа при 100°C
Коефіцієнт витоку гелію	1x10⁻¹¹ куб.см/хв
Швидкість витоку гелію	1x10⁻⁹ куб.см/хв
Обробка поверхні	Зовнішня поверхня Ra < 1,6 мкм
	Внутрішня поверхня Ra < 0,13 мкм
Максимальна робоча температура	460°C
Ефективність перехоплення частинок	≥99,9999999% (9-LRV) при 120 слпхв (довідкова MPPS, усі частинки)
Чистота нижче за течією	Вивільнення частинок: < 0,03 частинок/літр (< 1 частинка/фут³)
	Леткі речовини: < 10 ppb вологість
Розмір перехоплення частинок	≥0,003 мкм
Діапазон потоку	0 ~ 120 штрихів за хвилину

Розмір

розмір фільтрів поверхневого монтажу

Ось номер деталі, яку ви можете замовити, та деталі щодо розміру:

Модель продукту	Швидкість потоку	Висота H (мм)	Точність фільтрації	Рівень очищення
Z01B-00637	10 слпхв	51.6	0,003 мкм	C
Z01B-00638	40 штрихів за хвилину	82,9	0,003 мкм	C
Z01B-00687	80 штрихів за хвилину	126.2	0,003 мкм	C
Z01B-00688	120 штрихів за хвилину	167,9	0,003 мкм	C

Типові застосування

Для використання з W-подібним ущільненням та C-подібним ущільненням, модульними системами подачі газу для поверхневого монтажу розміром 1,125 дюйма та 1,5 дюйма.