Високочиста фільтрація для надчистого виробництва напівпровідників
Опис
Газовий фільтр високої витрати – спеціально розроблений для фільтрації технологічних газів надвисокої чистоти у виробництві напівпровідників. Виготовлений з високоточної нержавіючої сталі 316L, він має багатоколонну або багатошарову дискову конструкцію для забезпечення низького опору при високих швидкостях потоку, з точністю фільтрації, що досягає 0,003 мкм, що відповідає вимогам надвисокої чистоти. Суцільнометалева конструкція робить його ідеальним рішенням для фільтрації у високотемпературних динамічних середовищах.
Характеристика продукту
▶Вся конструкція з нержавіючої сталі 316L— Забезпечує довговічність та стійкість до корозії.
▶Висока швидкість потоку, низький опір— Оптимізовано для високої витрати з мінімальними втратами тиску.
▶Надвисока ефективність утримання частинок— Чудово підходить для підтримки надчистих умов.
▶Стійкий до високих температур, тиску та корозії— Підходить для суворих умов експлуатації.
▶Сумісний з різними технологічними газами— Універсальний для різних промислових застосувань.
▶Ідеально підходить для виробництва, випробувань та упаковки в чистих приміщеннях— Ідеально підходить для використання в контрольованих умовах.
▶100% перевірка цілісності— Кожен фільтр проходить ретельну перевірку на герметичність для забезпечення якості.
▶100% тестування на витік гелію— Перевірено за допомогою випробувань на витік гелію для забезпечення надійності у критично важливих застосуваннях.
Технічний паспорт
Технічні параметри
| Параметр | Специфікація |
|---|---|
| Матеріал фільтруючого елемента | Порошково спечена нержавіюча сталь 316L |
| Матеріал корпусу | Нержавіюча сталь 316L |
| Максимальний тиск на вході | 207 бар |
| Максимальний робочий перепад тиску | 5,2 бар |
| Коефіцієнт витоку гелію для перевірки | 2 x 10⁻¹⁰ куб. см/хв |
| Швидкість витоку гелію | 1 x 10⁻¹⁰ куб. см/хв |
| Обробка поверхні | |
| Зовнішня поверхня | Ra < 1,6 мкм |
| Внутрішня поверхня | Ra < 0,2 мкм |
| Максимальна робоча температура | |
| Інертний газ | 400-500℃ |
| Корозійний та реактивний газ | 50℃ |
| Ефективність утримання частинок | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Чистота нижче за течією | ≤0,03 частинок/літр @ > 0,01 мкм, 30 слпхв |
| Розмір утримання частинок | ≥0,003 мкм |
Розмір
Ось номер деталі, яку ви можете замовити, та деталі щодо розміру:
| Модель продукту | Матеріал фільтруючого елемента | Точність фільтрації (мкм) | Тип підключення |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Нержавіюча сталь 316L | 10~0,003 | 1/4 дюйма |
| Z01B-00648 | Нержавіюча сталь 316L | 10~0,003 | 1/2 дюйма |
| Z01B-00649 | Нержавіюча сталь 316L | 10~0,003 | 1/8 дюйма |
| Z01B-00650 | Нержавіюча сталь 316L | 10~0,003 | 1 дюйм |
| Налаштовується | Нержавіюча сталь 316L | 10~0,003 | За потреби |
Типові застосування
деякі типові застосуванняВисокочисті об'ємні та комунальні фільтриіФільтри потоку газу на газовій площадкі:
1. Виробництво напівпровідників
*Забезпечує подачу надчистого газу для виготовлення пластин, травлення та процесів хімічного осадження з парової фази (CVD).
*Підтримує високу чистоту в системах розподілу газу для азоту, аргону та інших газів-носіїв.
2. Фармацевтичне виробництво
*Забезпечує стерильний газ без твердих частинок для критично важливих виробничих середовищ.
*Підтримує високочисту фільтрацію для чистих приміщень та контрольованих середовищ для збереження цілісності продукту.
3. Лабораторні газові системи
*Використовується в лабораторних умовах для очищення газових потоків в аналітичному обладнанні, такому як газова хроматографія та мас-спектрометрія.
*Забезпечує високу чистоту газів для дослідницьких та випробувальних застосувань, захищаючи чутливі прилади.
4. Переробка харчових продуктів та напоїв
*Фільтрує CO₂ та інші гази, що використовуються в карбонізації, упаковці та зберіганні, підтримуючи безпеку та якість харчових продуктів.
*Забезпечує беззабруднювальне постачання газу на переробних заводах, особливо для газопостачання великих обсягів.
5. Нафтогазова промисловість
*Очищає потоки природного газу на газовій подушковій фільтрації, видаляючи забруднюючі речовини перед зберіганням або транспортуванням.
*Захищає обладнання нижче за течією, видаляючи тверді частинки, вологу та домішки в системах потоку газу високого тиску.
6. Хімічне виробництво
*Фільтрує корисні гази, такі як азот та аргон, що використовуються в хімічному синтезі та реакціях.
*Підтримує чистоту газу, щоб запобігти забрудненню та невідповідностям реакцій.
7. Аерокосмічна галузь та оборона
*Постачає високочисті гази у виробничих та випробувальних середовищах для аерокосмічних матеріалів та компонентів.
*Забезпечує стабільну чистоту газу в контрольованих середовищах для складання літаків та оборонного обладнання.
8. Виробництво енергії (електростанції)
*Фільтрує гази високого тиску для охолодження та технологічних застосувань, особливо в умовах високих температур.
*Підвищує ефективність та зменшує знос обладнання, запобігаючи забрудненню систем охолодження та потоку газу.
Ці fФільтри є важливими в будь-якому застосуванні, що вимагає чистого, стабільного потоку газу, покращення захисту обладнання,
ефективність процесів та якість кінцевої продукції в усіх галузях промисловості.
Надішліть нам своє повідомлення:
