Напівпровідникові фільтри

Напівпровідникові газові фільтри:

Забезпечення бездоганної чистоти газу при виготовленні мікросхем

У складному світі виробництва напівпровідників, де точність і чистота є найважливішими, якість

Використовувані гази відіграють вирішальну роль у визначенні успіху процесу. Домішки, навіть на нескінченно малих рівнях,

може завдати шкоди делікатній схемі мікрочіпів, зробивши їх несправними та непридатними для використання. Щоб захистити

у цьому критичному процесі напівпровідникові газові фільтри є непохитними охоронцями, ретельно видаляючи забруднення

і забезпечення первозданної якості газів, які проходять через виробничі лінії.

Фільтри зі спеченого металу мають багато відмінних характеристик і переваг

1. Створено в сучасному середовищі чистих приміщень

Ці фільтри народжуються в сучасній чистій кімнаті, середовищі, де ретельно підтримуються бездоганні умови, щоб звести до мінімуму будь-яке потенційне забруднення. Вони проходять суворий виробничий процес, починаючи з точного зварювання в атмосфері очищеного повітря. Подальша промивка деіонізованою водою з подальшою продувкою відфільтрованим азотом під високим тиском усуває будь-які затримані частинки та зменшує ризик випадання частинок.

2. Виняткова ефективність видалення часток

Завдяки неймовірній ефективності фільтрації 9 LRV для частинок розміром 0,003 мкм, дотримуючись суворих стандартів, встановлених методами тестування SEMI F38 та ISO 12500, ці фільтри ефективно видаляють будь-які частинки, що утворюються від корозії, і частинки, що утворюються від рухомих частин, забезпечуючи первозданну чистоту гази.

3. Чудова механічна міцність

Ретельно протестовані, щоб гарантувати виняткову стійкість у складних виробничих процесах і середовищах, де часто використовується високий тиск газу, ці фільтри забезпечують незмінну продуктивність протягом усього терміну служби.

4. Перевищення найвищих галузевих стандартів

Ці фільтри перевершують суворі вимоги до фільтрації обробки газу для обробки напівпровідників. Вони проходять ретельні випробування, щоб гарантувати відповідність критичній ефективності фільтрації, точному контролю потоку та стандартам безпеки, які вимагаються для систем доставки газу у виробництві напівпровідників.

5. Непохитне зобов'язання щодо безпеки

Щоб захистити від впливу легкозаймистих, корозійних, токсичних і пірофорних технологічних газів, корпуси фільтрів проходять ретельну перевірку на герметичність, гарантуючи, що вони досягають чудової швидкості витоку менше 1x10-9 атм scc/с. Ця непохитна відданість безпеці гарантує, що небезпечні гази стримуються та запобігають завданню шкоди.

6. Безкомпромісна чистота для досконалості виробництва мікросхем

Завдяки своїм винятковим можливостям фільтрації, непохитній відданості безпеці та дотриманню найвищих галузевих стандартів ці газові фільтри відіграють ключову роль у захисті складного процесу виробництва напівпровідників. Вони є охоронцями чистоти, гарантуючи, що лише найчистіші гази проходять через виробничі лінії, прокладаючи шлях для створення високопродуктивних мікрочіпів, які живлять наш сучасний світ.

Типи напівпровідникових фільтрів

Напівпровідникові фільтри використовуються в різних сферах застосування, зокрема:

* Виробництво електроніки:

Напівпровідникові фільтри використовуються для видалення частинок із надчистої води, газів і хімікатів, які використовуються у виробництві напівпровідників.

* Хіміко-механічна планаризація (CMP):

Напівпровідникові фільтри використовуються для видалення частинок із суспензій CMP, які використовуються для полірування напівпровідникових пластин.

* Біомедичні:

Напівпровідникові фільтри використовуються для видалення частинок із рідин, які використовуються в медичній діагностиці та лікуванні.

* Екологічні:

Напівпровідникові фільтри використовуються для видалення частинок з повітря та води.

Існує чотири основних типи напівпровідникових фільтрів:

1. Мембранні фільтри:

Мембранні фільтри виготовлені з тонкої пористої плівки, яка пропускає рідини, затримуючи частинки.

 

Мембранні фільтри для напівпровідників

 

 

2. Глибинні фільтри:

Глибинні фільтри виготовлені з товстого, звивистого шару матеріалу, який затримує частинки, коли вони проходять через фільтр.

 

Глибинні фільтри для напівпровідників

 

 

3. Фільтри-адсорбенти:

Фільтри-адсорбенти виготовлені з матеріалу, який притягує та утримує частинки.

 

 Фільтри-адсорбенти для напівпровідників

 

 

4. Металеві спечені фільтри

Спечені металеві фільтри – це різновид глибинних фільтрів, які зазвичай використовуються у виробництві напівпровідників. Вони виготовляються шляхом спікання тонкого металевого порошку в пористу структуру. Спечені металеві фільтри відомі своєю довговічністю, високою ефективністю фільтрації та здатністю витримувати високі температури та тиск.

Переваги спечених металевих фільтрів для виробництва напівпровідників:

* Висока міцність:

Спечені металеві фільтри дуже довговічні та можуть витримувати суворі умови експлуатації, включаючи високі температури, тиск і корозійні хімікати.

 

* Висока ефективність фільтрації:

Спечені металеві фільтри можуть видаляти частинки розміром до 0,01 мікрона, що важливо для захисту делікатних напівпровідникових компонентів від забруднення.

* Довгий термін служби:

Спечені металеві фільтри мають тривалий термін служби, їх можна легко очистити та використовувати повторно.

* Хімічна сумісність:

Спечені металеві фільтри сумісні з широким спектром хімічних речовин, що робить їх придатними для використання в різноманітних процесах виробництва напівпровідників.

Застосування спечених металевих фільтрів у виробництві напівпровідників:

* Очищення газу:

Спечені металеві фільтри використовуються для очищення газів, що використовуються у виробництві напівпровідників, таких як азот, водень і кисень.

* Хімічна фільтрація:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації хімічних речовин, які використовуються у виробництві напівпровідників, таких як кислоти, основи та розчинники.

* Фільтрація надчистої води:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації надчистої води, яка використовується у виробництві напівпровідників.

* Фільтрація суспензії CMP:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації суспензій CMP, які використовуються для полірування напівпровідникових пластин.

Спечені металеві фільтри є важливою частиною процесу виробництва напівпровідників, допомагаючи забезпечити виробництво високоякісних напівпровідникових пристроїв.

 

Тип напівпровідникового фільтра, який використовується в конкретному застосуванні, залежить від розміру частинок, що видаляються, типу рідини, що фільтрується, і бажаного рівня фільтрації.

Ось таблиця, у якій узагальнено різні типи напівпровідникових фільтрів:

Тип фільтра	опис	Додатки	Зображення
Мембранні фільтри	Виготовлений із тонкої пористої плівки, яка пропускає рідини, утримуючи частки.	Виробництво електроніки, CMP, біомедичне, екологічне	Мембранні фільтри для напівпровідників
Глибинні фільтри	Виготовлений із товстого, звивистого шару матеріалу, який затримує частинки, коли вони проходять через фільтр.	CMP, біомедичний, екологічний	Глибинні фільтри для напівпровідників
Фільтри-адсорбенти	Виготовлений з матеріалу, який притягує та утримує частинки.	Виробництво електроніки, CMP, біомедичне, екологічне	Фільтри-адсорбенти для напівпровідників
Фільтри зі спеченого металу	Виготовляється шляхом спікання тонкого металевого порошку в пористу структуру.	Очищення газу, хімічна фільтрація, фільтрація надчистої води, фільтрація шламу CMP	Відкриється в новому вікніwww.hengko.com Спечені металеві фільтри для напівпровідників

застосування

Спечені металеві напівпровідникові газові фільтри широко використовуються в різних сферах застосування в напівпровідниковій промисловості. Їх унікальні властивості, такі як висока ефективність фільтрації, довговічність і здатність витримувати високі температури та тиск, роблять їх важливим компонентом систем доставки газу у виробництві напівпровідників.

Ось деякі з конкретних застосувань спечених металевих напівпровідникових газових фільтрів:

1. Виробництво вафель:

Спечені металеві фільтри використовуються для очищення газів, що використовуються у виробництві пластин, таких як азот, водень і кисень. Ці гази необхідні для таких процесів, як епітаксійне зростання, травлення та легування.

2. Хімічна фільтрація:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації хімічних речовин, які використовуються у виробництві напівпровідників, таких як кислоти, основи та розчинники. Ці хімічні речовини використовуються для різноманітних цілей, зокрема для очищення, травлення та полірування.

3. Фільтрація надчистої води:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації надчистої води (UPW), яка використовується у виробництві напівпровідників. UPW необхідний для очищення та промивання вафель, а також для приготування хімікатів.

4. Фільтрація суспензії CMP:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації суспензій CMP, які використовуються для полірування напівпровідникових пластин. CMP є критично важливим процесом у виготовленні мікрочіпів.

5. Фільтрація в місці використання (POU):

Спечені металеві фільтри часто використовуються як POU-фільтри, які встановлюються безпосередньо на місці використання, щоб забезпечити найвищий рівень фільтрації. Фільтри POU особливо важливі для застосувань, де чистота газу є критичною, наприклад, у виробництві мікропроцесорів та інших високопродуктивних пристроїв.

6. Обробка газу високої чистоти:

Спечені металеві фільтри використовуються в системах обробки газу високої чистоти для видалення забруднень із газів, які використовуються у виробництві напівпровідників. Ці забруднення можуть включати частинки, вологу та органічні сполуки.

7. Виробництво мікроелектроніки:

Спечені металеві фільтри використовуються у виробництві мікроелектроніки, такої як комп’ютери, планшети, мобільні телефони, датчики Інтернету речей і пристрої керування.

8. Фільтрація мікроелектромеханічних систем (MEMS):

Спечені металеві фільтри використовуються в MEMS-фільтрації, яка є процесом видалення забруднень із мікроелектромеханічних систем. MEMS використовуються в різноманітних програмах, включаючи датчики, приводи та перетворювачі.

9. Фільтрація пристрою зберігання даних:

Спечені металеві фільтри використовуються для фільтрації пристроїв зберігання даних, тобто процесу видалення забруднень із пристроїв зберігання даних, таких як жорсткі диски та твердотільні накопичувачі.

На додаток до цих конкретних застосувань газові фільтри зі спечених металевих напівпровідників також використовуються в ряді інших застосувань у напівпровідниковій промисловості. Їхня універсальність і надійність роблять їх важливим інструментом для виробників напівпровідників.

Шукаєте високоякісні газові фільтри зі спечених металевих напівпровідників?

HENGKO — ваш улюблений партнер для OEM-рішень у системах виробництва напівпровідників.

Наші фільтри високої точності забезпечують надійність і ефективність ваших процесів, пропонуючи вам перевагу на конкурентному ринку.

Чому варто вибрати фільтри HENGKO?

* Висока якість і довговічність
* Індивідуальні рішення відповідно до ваших потреб
* Підвищена продуктивність для виробництва напівпровідників

Не дозволяйте проблемам фільтрації гальмувати ваше виробництво.

Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися, як наші спечені металеві фільтри можуть революціонізувати вашу виробничу систему.

Зв'яжіться з нами за адресоюka@hengko.com

У партнерстві з HENGKO зробіть крок до досконалості у виробництві напівпровідників!