Камерні дифузори високої чистоти з пористого металу HENGKO Stone для фільтрації газу високої чистоти до напівпровідника
Пористі металеві дифузори HENGKO швидко виводять вакуумні камери в атмосферу, що скорочує час циклу та збільшує пропускну здатність.Наші дифузори з нержавіючої сталі забезпечують рівномірний і ламінарний потік газу без заважаючих частинок у камері.Ці пористі металеві дифузори також видаляють частинки розміром понад 0,1 мкм із вхідного газу, зводячи до мінімуму дефекти на пластині.
Дифузори з нержавіючої сталі витримують вищий робочий тиск і зберігають цілісність продукту – це найдовший термін служби в галузі.А для стійкості до корозії, яка перевершує нікель, використовуйте дифузори високої чистоти HENGKO.
Додатки
Пористі металеві дифузори HENGKO використовуються у вентиляційних системах у камерах шлюзу навантаження, камерах передачі, камерах охолодження та технологічних камерах інтерфейсів напівпровідникового обладнання (CVD, PVD, Etch, Epi) або інших вакуумних камерах
Не можете знайти продукт, який відповідає вашим потребам?Зверніться до нашого відділу продажівПослуги налаштування OEM/ODM!