Датчик температури та вологості для схеми контролю вологості температури чистої кімнати Semiconductor
Показ продукту
Температураівологість чистого простору в основному визначається відповідно до вимог процесу, але за умови виконання вимог процесу слід враховувати відчуття комфорту.З підвищенням вимог до чистоти повітря намітилася тенденція все більш жорстких вимог до температури і вологості.
Оскільки точність обробки стає все більш високою, діапазон коливань температури стає все меншим.Наприклад, у процесі літографічного експонування великомасштабного виробництва інтегральних схем різниця в коефіцієнті теплового розширення між склом і кремнієвою пластиною як матеріалом маски повинна бути все меншою і меншою.Діаметр кремнієвої пластини 100 мкм, підвищення температури на 1 градус спричинить лінійне розширення 0,24 мкм, тому має бути температура ±0,1 градуса, у той же час значення вологості, як правило, низьке, оскільки люди потіють, продукт забруднюється, особливо боїться цеху напівпровідників натрію, ця майстерня не повинна перевищувати 25 градусів.
Висока вологість викликає більше проблем.Коли відносна вологість перевищує 55%, на стінках труби охолоджувальної води утворюється роса, що спричинить різноманітні аварії, якщо це станеться в точних пристроях або схемах.При відносній вологості повітря 50% легко іржавіє.Крім того, коли вологість занадто висока, пил, що прилип до поверхні кремнієвого чіпа, буде хімічно адсорбуватися на поверхні, щоб протистояти видаленню.Чим вища відносна вологість, адгезію важко видалити, але коли відносна вологість нижче 30%, частинки легко адсорбуються на поверхні завдяки дії електростатичної сили, і велика кількість напівпровідникових приладів схильні до поломки.Оптимальний діапазон температур для виробництва вафель становить 35-45%.
Тому контроль температури та вологості є особливо важливим, HENGKO може надати вам серіюіндивідуальні рішення для обробки передавача температури та вологості!
Датчик температури та вологості для схеми контролю вологості температури чистої кімнати Semiconductor
Не можете знайти продукт, який відповідає вашим потребам?Зверніться до нашого відділу продажівПослуги налаштування OEM/ODM! 
